超薄壁タンタル毛細管の製造工程では、まず金属材料としてタンタルを選択します。重要な工程には、焼鈍、延伸、そして専用の延伸装置の使用が含まれます。本発明の有益な効果は、上記の処理により、いくつかの重要な技術を克服し、厚さ0.03mm未満の超薄壁タンタル毛細管を製造できることです。
重要なプロセスは以下のとおりである。
1. 焼鈍処理要件：外径と肉厚に応じて、焼鈍温度は800～1200℃、保持時間は5～15分に制御し、有効焼鈍温度範囲内での温度差は10℃を超えないようにし、焼鈍時の真空度は10-4以上とし、自然冷却は真空中で実施する。
2. 伸張処理要件：壁厚0.1 mm未満の毛細管を製造する場合、単回伸張率は10%を超えず、サイクル全体の累積伸張率は20%;
3. 専用延伸装置の使用：振動のないスパイラル油圧延伸機を使用することで、延伸工程中の破損リスクを低減します。本発明の有益な効果は、上記の加工技術により、厚さ0.03mm未満の超薄壁タンタル毛細管を製造できることです。
以下の工程を採用しています。
1. 焼鈍工程：焼鈍温度は、外径と壁厚に応じて800～1200℃の範囲で制御されます。保持時間は5～15分、有効焼鈍温度範囲内での温度差は10℃以下、焼鈍中の真空度は10⁻⁴以上とし、その後自然真空冷却する。
2. 延伸工程要件：壁厚0.1mm未満の製造工程では、単発延伸率は10%以下、サイクル全体の累積延伸率は20%以下とする。
3. 専用延伸装置：振動のないスパイラル油圧延伸機を使用し、延伸工程中の破損を低減する。
本発明の有益な効果は、上記の加工技術により、いくつかの重要な技術を克服し、厚さ0.03mm未満の超薄壁タンタル毛細管の製造を可能にすることである。
